现在，晶圆厂(Fab)内机台的附属设备上方通常设有防漏盘，以防止水滴入所述 附属设备内。请参阅图l，图l所示为现有的防漏盘的结构示意图。所述防漏盘是由侧板l 和底板2合围组成的凹槽体，所述底板1的下方设有四个支撑腿4，且所述底板2上设有漏 水孔21，所述漏水孔21下接排水管3。由于这些附属设备的顶部通常都有电缆或管子进出， 因此，在所述防漏盘的底板2上设有向上的凸部，所述凸部和底板具有贯通的通孔22，该通 孔22供所述电缆或管子进出。 然而，其中，有些机台的附属设备需要做定期的维护。设备工程师在做维护的时 候，只有把防漏盘取下，才能进行维护工作。由于附属设备顶部有电缆或管子进出，这些电 缆或管子穿经所述防漏盘的通孔，使得防漏盘安装到附属设备后就不能取下来。如果需要 把安装在附属设备顶部的防漏盘取下来，必须得通知厂商把防漏盘沿通孔处切开，方可取 下防漏盘。当维护工作完成后，再通过焊条将防漏盘补焊恢复。然而，在切割防漏盘的过程 中，容易造成防漏盘破损。切开和补焊的过程也会使得维护费用增加，同时也降低了设备的 维护效率。 因此，如何提供一种便于拆装的防漏盘是本领域的技术人员亟待解决的一个技术 问题。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种便于拆装的防漏盘，使其能够灵活的 拆装，便于设备维护。 为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案 —种便于拆装的防漏盘，包括可拆装的两个防漏盘分体，所述防漏盘分体是由若 干侧板和一底板合围成的凹槽体，所述侧板中包括一具有内凹圆弧段的对接侧板，当两个 防漏盘分体的对接侧板拼合在一起时，所述内凹圆弧段连接形成一个通孔，所述防漏盘还 设有用于锁定所述两个防漏盘分体的锁定机构。 在上述的便于拆装的防漏盘中，所述对接侧板由前直板、内凹圆弧板和后直板依 次连接而成。 在上述的便于拆装的防漏盘中，所述锁定机构有两个，当两个防漏盘分体的对接 侧板拼合在一起时， 一个锁住两个防漏盘分体的对应的前直板，另一个锁住两个防漏盘分 体的对应的后直板。 在上述的便于拆装的防漏盘中，所述锁定机构为纵向开槽口的圆管，当两个防漏 盘分体的对接侧板拼合在一起时，所述对应的前直板或对应的后直板分别插置于所述槽口 内。[0011] 在上述的便于拆装的防漏盘中，所述圆管的长度分别与所述前直板或后直板的长 度相对应。 在上述的便于拆装的防漏盘中，所述底板上开有漏水孔，所述漏水孔下接排水管。 在上述的便于拆装的防漏盘中，所述内凹圆弧段为半圆。 在上述的便于拆装的防漏盘中，所述底板下方分别设有若干支撑腿。 在上述的便于拆装的防漏盘中，所述支撑腿为四根。 在上述的便于拆装的防漏盘中，所述防漏盘的材质为聚丙烯。 本实用新型的有益效果如下 本实用新型便于拆装的防漏盘，通过将传统的安装在机台附属设备上固定而不能 移动的防漏盘进行分体制造，并进行可拆装式连接，从而可以在这些附属设备需要维护时， 不需要切割防漏盘，就可以将防漏盘从附属设备上方取下来，从而免去了防漏盘的切割和 补焊工作，不但免去了切割和补焊产生的费用，同时有效提高了附属设备的维护效率。
图1是现有的防漏盘的结构示意图； 图2是本实用新型便于拆装的防漏盘的分离状态的结构示意图； 图3是本实用新型便于拆装的防漏盘的组合状态的结构示意图； 图中，l-侧板(含对接侧板)、11_前直板、12-内凹圆弧板(即内凹圆弧段)、
13-后直板、2-底板、21-漏水孔、22-通孔，3-排水管、4-支撑腿、5_锁定机构。
具体实施方式以下将对本实用新型的便于拆装的防漏盘作进一步的详细描述。 下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选
实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型
的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对
本实用新型的限制。 为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能 和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例 的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商 业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和 耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。 为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实 施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率， 仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。 本实用新型的核心思想通过将传统的安装在机台附属设备上固定而不能移动的 防漏盘进行分体制造，并进行可拆装式连接，从而可以在这些附属设备需要维护时，不需要 切割防漏盘，就可以将防漏盘从附属设备上方取下来，从而免去了防漏盘的切割和补焊工 作，不但免去了切割和补焊产生的费用，同时有效提高了附属设备的维护效率。[0029] 请参阅图2和图3，图2是本实用新型便于拆装的防漏盘的分离状态的结构示意 图；图3是本实用新型便于拆装的防漏盘的组合状态的结构示意图。 这种便于拆装的防漏盘，包括可拆装的两个防漏盘分体。所述防漏盘分体是由若 干侧板1和一底板2合围成的凹槽体。所述侧板1中包括一具有内凹圆弧段的对接侧板1， 所述对接侧板l由前直板11、内凹圆弧板12(即内凹圆弧段12)和后直板13依次连接而 成。当两个防漏盘分体的对接侧板1拼合在一起时，所述内凹圆弧段12连接形成一个通孔 22，该通孔22供附属设备顶部的电缆或管子进出。本实施例中，所述内凹圆弧段12为半圆 形。另外，所述防漏盘还设有用于锁定所述两个防漏盘分体的锁定机构5。 所述锁定机构5有两个，当两个防漏盘分体的对接侧板拼合在一起时，一个锁住 所述两个防漏盘分体的对应的(即对接的)前直板ll，另一个锁住所述两个防漏盘分体的 对应的(即对接的)后直板13。所述锁定机构5为纵向开槽口的圆管，当两个防漏盘分体 的对接侧板拼合在一起时，所述对应的前直板11或对应的后直板13分别插置于各自锁定 机构5的槽口内。所述圆管的长度分别与所述前直板11或后直板13的长度相对应。 所述底板2上开有漏水孔21，所述漏水孔21下接排水管3。该防漏盘接到的水经 漏水孔21及排水管3排出。 所述底板2下方分别设有若干支撑腿4。通过支承腿4使得防漏盘安装在机台附 属设备的上方。所述支撑腿4为四根。 所述防漏盘的材质为聚丙烯。用聚丙烯制成的防漏盘具有无毒、无味，密度小、耐 腐蚀和绝缘性高等优点。 本实用新型中的便于拆装的防漏盘可以一体成型制成，也可以通过原来的防漏盘 改装而成。改装方法如下首先，将传统的防漏盘，沿通孔的中心线切开，将防漏盘分成两 部分即两个防漏盘分体。然后，在每个防漏盘分体的被切割面上安装封边板(即前直板和 后直板)。接着，在每个防漏盘分体的底板上安装两个支撑腿，使得每个防漏盘分体的底板 上具有四个支撑腿。接着，在没有漏水孔的防漏盘分体的底板上开设漏水孔，且在漏水孔下 方安装排水管。最后，制作锁定机构，将类似排水管的圆管切成所需长度(即长度分别与前 直板和后直板相应)的两段，并沿纵向开槽。如此，传统的防漏盘就改装成便于拆装的防漏 本实用新型是这样工作的 当需要将这种便于拆装的防漏盘安装到机台的附属设备上方时，先将两个防漏盘 分体对接的侧板对齐，使得附属设备的上方的电缆或管子从两内凹圆弧版组成的通孔中伸 出；然后。将锁定机构分别套置在对接的前直板和后直板上，使得两个防漏盘分体组合连接 在一起。 当机台的附属设备需要维护而需将便于拆装的防漏盘取下时，只要将锁定机构向 上取走后，就可以将两个防漏盘分体分开，从而顺利地将防漏盘从机台的附属设备上方取 下来，操作非常方便。 显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用 新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及 其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求一种便于拆装的防漏盘，其特征在于，包括可拆装的两个防漏盘分体，所述防漏盘分体是由若干侧板和一底板合围成的凹槽体，所述侧板中包括一具有内凹圆弧段的对接侧板，当两个防漏盘分体的对接侧板拼合在一起时，所述内凹圆弧段连接形成一个通孔，所述防漏盘还设有用于锁定所述两个防漏盘分体的锁定机构。
2. 如权利要求1所述的便于拆装的防漏盘，其特征在于，所述对接侧板由前直板、内凹 圆弧板和后直板依次连接而成。
3. 如权利要求2所述的便于拆装的防漏盘，其特征在于，所述锁定机构有两个，当两个 防漏盘分体的对接侧板拼合在一起时， 一个锁住两个防漏盘分体的对应的前直板，另一个 锁住两个防漏盘分体的对应的后直板。
4. 如权利要求3所述的便于拆装的防漏盘，其特征在于，所述锁定机构为纵向开槽口 的圆管，当两个防漏盘分体的对接侧板拼合在一起时，所述对应的前直板或对应的后直板 分别插置于所述槽口内。
5. 如权利要求4所述的便于拆装的防漏盘，其特征在于，所述圆管的长度分别与所述 前直板或后直板的长度相对应。
6. 如权利要求1所述的便于拆装的防漏盘，其特征在于，所述底板上开有漏水孔，所述 漏水孔下接排水管。
7. 如权利要求1所述的便于拆装的防漏盘，其特征在于，所述内凹圆弧段为半圆。
8. 如权利要求1所述的便于拆装的防漏盘，其特征在于，所述底板下方分别设有若干 支撑腿。
9. 如权利要求8所述的便于拆装的防漏盘，其特征在于，所述支撑腿为四根。
10. 如权利要求1所述的便于拆装的防漏盘，其特征在于，所述防漏盘的材质为聚丙烯。
专利摘要本实用新型公开了一种便于拆装的防漏盘，包括可拆装的两个防漏盘分体，所述防漏盘分体是由若干侧板和一底板合围成的凹槽体，凤凰联盟注册所述侧板中包括一具有内凹圆弧段的对接侧板，当两个防漏盘分体的对接侧板拼合在一起时，所述内凹圆弧段连接形成一个通孔，所述防漏盘还设有用于锁定所述两个防漏盘分体的锁定机构。通过将传统的安装在机台附属设备上固定而不能移动的防漏盘进行分体制造，并进行可拆装式连接，从而可以在这些附属设备需要维护时，不需要切割防漏盘，就可以将防漏盘从附属设备上方取下来，从而免去了防漏盘的切割和补焊工作，不但免去了切割和补焊产生的费用，同时有效提高了附属设备的维护效率。
